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    解析匀胶机原理材质的选择

    解析匀胶机原理材质的选择


    从其原理来说,匀胶机有以下两个特点。

    1)旋转速度

    转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求*涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。转速控制方面有际认定标准,如美NIST标准等。

    2)真空吸附系统

    真空泵般采用无油泵,即通常说的干泵,因为何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴的胶液不慎入真空管道系统成堵塞。有的匀胶机通过联动机制,当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎入真空管道系统。

    匀胶机匀胶机

    该匀胶机的术参数:

    Speed Ⅰ调速范围:500~2500 r/min;

    Timer Ⅰ匀胶时间:0~18 s;

    Speed Ⅱ转速范围:800~8000 r/min;

    Timer Ⅱ匀胶时间:0~60 s;

    转速稳定度:±1%;

    电机率:40 W;

    被镀物质尺寸:Φ12~Φ100mm。 [3]

     

     

    材质的选择

    对于半导体化行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点

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