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热式气体质量流量控制器 型号；HA-S48 32/HMT

热式气体质量流量控制器    型号；HA-S48 32/HMT

编号
项目
S48 32/HMT
1
流量规格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,20,30)L/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装方向
意
5
流量控制范围
2%-
6
流量测量范围
(0-100)%
7
零点温漂
0.6%F.S.(15~35℃)
8
响应时间 
2s(T98,设定值的±2%F.S.)
9
作环境温度
5~50℃
10
精度保证温度
15~35℃
11
精度
±1.0%F.S
12
线性
±0.5%F.S
13
重复精度
±0.2%F.S
14
作压差范围
~5L/min:(0.05-0.3)MPa
10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15
耐压
3MPa
16
漏率
1×10-8Pa.m3/s(He)
17
管路接头
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18
供电电源
±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA
19
设定信号
(0-5)VDC 
输入阻抗>1MΩ
20
流量输出信号
(0-5)VDC
负载输出电流能力≤3mA
21
电气接头
D-SUB15
22
尺寸 (mm)
113（宽）×121（）×32（厚）

 


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