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    技术文章

    热式气体质量流量控制器

    产品名称：热式气体质量流量控制器
    货　　号：24472
    产品型号：HA-S48 32/HMT
     

    热式气体质量流量控制器    型号；HA-S48 32/HMT

    编号
    项目
    S48 32/HMT
    1
    流量规格
    (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
    (1,2,3,5,10,20,30)L/min
    2
    调节阀类型
    电磁调节阀
    3
    调节阀静止状态
    常闭
    4
    安装方向
    意
    5
    流量控制范围
    2%-
    6
    流量测量范围
    (0-100)%
    7
    零点温漂
    0.6%F.S.(15~35℃)
    8
    响应时间 
    2s(T98,设定值的±2%F.S.)
    9
    作环境温度
    5~50℃
    10
    精度保证温度
    15~35℃
    11
    精度
    ±1.0%F.S
    12
    线性
    ±0.5%F.S
    13
    重复精度
    ±0.2%F.S
    14
    作压差范围
    ~5L/min:(0.05-0.3)MPa
    10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
    15
    耐压
    3MPa
    16
    漏率
    1×10-8Pa.m3/s(He)
    17
    管路接头
    1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
    18
    供电电源
    ±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA
    19
    设定信号
    (0-5)VDC 
    输入阻抗>1MΩ
    20
    流量输出信号
    (0-5)VDC
    负载输出电流能力≤3mA
    21
    电气接头
    D-SUB15
    22
    尺寸 (mm)
    113（宽）×121（）×32（厚）

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