在近代科学术的许多域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，更加和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际作中可以利用各种传统的方法测定光学参数，如：布儒斯角法测介质膜的折射率，干涉法测膜厚，其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度、精度、非破坏性测量等优点，因而，椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、学等诸多域得到广泛应用。