半导体电阻率测试仪/电阻率测试仪/半导体电阻率测定仪(含探头和测试架) 型号:HHY8-BD-86A
HHY8-BD-86A型半导体电阻率测试仪是我厂推出的*新的普及型半导体电阻率测试仪器,本仪器是根据四探针原理,适合半导体器材厂,材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(簿层电阻),也可以用作测量金属薄层电阻,经过对用户、半导体厂测试的调查,根据美ASTM标准的规定,在电路和探头方面作了重大的修改和术上的许多突破,它更适合于半导体器材厂艺检测方面对中值、阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪,具有测量精度,稳定性好,输入阻抗,使用方便、价格低廉等点。
仪器主要术标:
1. 测量范围:电阻率10-3—103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm
方块电阻10-2—104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□
薄层金属电阻10-4—105Ω,分辩率为10-4Ω
2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm; 长度:150mm(可扩展500mm)
3.测量方式:轴向、断面均可
4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)、200mV、2V
(2)测量误差:±0.3%读数±1字
(3)输入阻抗:大于108Ω
(4)显示3 1/2 位红色发光二管(LED)数字显示
0---1999具有性、过载、小数点、单位自动显示
5.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离能
(1) 直流电流:0—100mA连续可调
(2) 量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3) 分辩率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
(4) 电流误差:±0.3%读数±2字
6.电性能模拟考核误差:<±0.3%符合ASTM标
7.测试探头:(1)探针机械游移率:± 0.3% 符合ASTM 标
8.电源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 率消耗< 30W
9.电气箱外形尺寸:119×440×320mm