数字式四探针测试计/数字式四探针测试仪 型号:SZB-SX1934
产品点 四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法家标准并参考美A.S.T.M 标准*的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试用仪器。 仪器以大规模集成电路为核心件,采用旋扭式开关控制,及各种作状态LED示。应用微计算机术,使得测量读数更加直观、快速。整套仪器体积小、耗低、测量精度、测试速度快、稳定性好、易操作。 测量范围 电阻率/Range:10-4—105Ω/□(可扩展/extended range) 方块电阻(薄层电阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 电阻/resistance:10-6—105Ω 可测晶片直径(*) φ100mm(标配),方形230×220mm(*) *电阻测量误差(按JJG508-87) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%读数±2个字 外形尺寸 400mm×440mm×120mm 仪器重量 电气主机:约4kg 测试台:约5kg 测试环境 温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%; 无频干扰 无强光照射 电源 220V±10%(50Hz) 耗≤35W 备注 具备电脑接口 探头 SZB-Sx系列四探针探头是采用综合性能优异的分子材料、耐磨和硬度的探针研制的测量数据稳定、可靠、准确度、耐用性能好四探针探头。所有术标符合家标准,同时符合ASTM标准有关规定。 间距:1±0.01mm; 针间缘电阻≥1000MΩ; 机械游移率:≤1.0%; 探针压力:TZT-9A/9B: 12-16牛顿(总力) TZT-9C/9D 5-8 牛顿(总力)